功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2005年
7期
1056-1058
,共3页
等离子%热丝化学气相沉积%金刚石薄膜
等離子%熱絲化學氣相沉積%金剛石薄膜
등리자%열사화학기상침적%금강석박막
采用等离子热丝化学气相沉积(PHFCVD)装置进行了金刚石薄膜的制备实验.实验条件为:氢气流量为200sccm,甲烷流量为2～12sccm,基体温度为700～900℃,偏压为0～400V,真空室压力为4kPa.通过实验得出了甲烷含量、基体温度和偏压对沉积金刚石膜的影响,并运用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)等测试方法对金刚石薄膜进行了观察分析.
採用等離子熱絲化學氣相沉積(PHFCVD)裝置進行瞭金剛石薄膜的製備實驗.實驗條件為:氫氣流量為200sccm,甲烷流量為2～12sccm,基體溫度為700～900℃,偏壓為0～400V,真空室壓力為4kPa.通過實驗得齣瞭甲烷含量、基體溫度和偏壓對沉積金剛石膜的影響,併運用掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)和X射線衍射(XRD)等測試方法對金剛石薄膜進行瞭觀察分析.
채용등리자열사화학기상침적(PHFCVD)장치진행료금강석박막적제비실험.실험조건위:경기류량위200sccm,갑완류량위2～12sccm,기체온도위700～900℃,편압위0～400V,진공실압력위4kPa.통과실험득출료갑완함량、기체온도화편압대침적금강석막적영향,병운용소묘전자현미경(SEM)、원자력현미경(AFM)화X사선연사(XRD)등측시방법대금강석박막진행료관찰분석.
