CAJ | 학술논문

基片在薄膜应力作用下产生宏观弯曲变形,使入射光线的入射角在基片不同位置产生偏差.根据空间两直线夹角公式,计算了入射光线在曲面上任意一点的入射角,得出同一入射方向的光线在曲面不同点具有不同的入射角,即产生入射角度偏差,偏差大小与基片弯曲曲率半径成反比和入射点位置成正比.进而分析了角度偏差对光谱的影响.实验结果表明,离参考点位置越远,波长偏差越大;角度越大,耦合效率越低.实验结果与理论分析一致.
기편재박막응력작용하산생굉관만곡변형,사입사광선적입사각재기편불동위치산생편차.근거공간량직선협각공식,계산료입사광선재곡면상임의일점적입사각,득출동일입사방향적광선재곡면불동점구유불동적입사각,즉산생입사각도편차,편차대소여기편만곡곡솔반경성반비화입사점위치성정비.진이분석료각도편차대광보적영향.실험결과표명,리삼고점위치월원,파장편차월대;각도월대,우합효솔월저.실험결과여이론분석일치.