电子科技大学学报
電子科技大學學報
전자과기대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF ELECTRONIC SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA
2006年
5期
823-825,828
,共4页
周英%邓宏%李燕%程珍娟
週英%鄧宏%李燕%程珍娟
주영%산굉%리연%정진연
溶胶-凝胶法%ZnO薄膜%c轴择优取向性%禁带宽度
溶膠-凝膠法%ZnO薄膜%c軸擇優取嚮性%禁帶寬度
용효-응효법%ZnO박막%c축택우취향성%금대관도
采用了溶胶-凝胶工艺在普通的玻璃载玻片上成功地制备出具有c轴择优取向性、高的可见光透光率、平整均匀的氧化锌薄膜.通过XRD、AFM以及UV光谱仪等分析,其结果表明:所制备的氧化锌薄膜具有纤锌矿型结构,表面均匀致密,薄膜晶粒尺寸大约在40～90 nm,溶胶浓度增大时,其晶粒大小呈增大的趋势.随着涂膜层数的增加,薄膜的(002)方向的取向度增加.薄膜在可见光区的光透过率＞85%,在近紫外光波段透射率急剧减小,对应的禁带宽度为3.34 eV.
採用瞭溶膠-凝膠工藝在普通的玻璃載玻片上成功地製備齣具有c軸擇優取嚮性、高的可見光透光率、平整均勻的氧化鋅薄膜.通過XRD、AFM以及UV光譜儀等分析,其結果錶明:所製備的氧化鋅薄膜具有纖鋅礦型結構,錶麵均勻緻密,薄膜晶粒呎吋大約在40～90 nm,溶膠濃度增大時,其晶粒大小呈增大的趨勢.隨著塗膜層數的增加,薄膜的(002)方嚮的取嚮度增加.薄膜在可見光區的光透過率＞85%,在近紫外光波段透射率急劇減小,對應的禁帶寬度為3.34 eV.
채용료용효-응효공예재보통적파리재파편상성공지제비출구유c축택우취향성、고적가견광투광솔、평정균균적양화자박막.통과XRD、AFM이급UV광보의등분석,기결과표명:소제비적양화자박막구유섬자광형결구,표면균균치밀,박막정립척촌대약재40～90 nm,용효농도증대시,기정립대소정증대적추세.수착도막층수적증가,박막적(002)방향적취향도증가.박막재가견광구적광투과솔＞85%,재근자외광파단투사솔급극감소,대응적금대관도위3.34 eV.
