微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2007年
2期
49-51
,共3页
贾书海%朱军%赵小林%杨春生%丁桂甫%蔡炳初
賈書海%硃軍%趙小林%楊春生%丁桂甫%蔡炳初
가서해%주군%조소림%양춘생%정계보%채병초
微机电系统(MEMS)%微电磁驱动器%光开关%磨损
微機電繫統(MEMS)%微電磁驅動器%光開關%磨損
미궤전계통(MEMS)%미전자구동기%광개관%마손
光开关中运动元件的磨损对光学元件的位置精度有重要影响.介绍了MEMS微电磁驱动器磨损对光开关光学性能影响的理论分析,采用光纤光学理论计算了磨损所引起的光开关的附加插入损耗,结果表明,所采用的微电磁驱动器磨损引起的附加插入损耗小于0.02 dB,其磨损特性可以满足光通信开关的要求,实验结果证明了理论分析的正确性.此方法对光开关和MEMS微驱动器的研究具有指导意义.
光開關中運動元件的磨損對光學元件的位置精度有重要影響.介紹瞭MEMS微電磁驅動器磨損對光開關光學性能影響的理論分析,採用光纖光學理論計算瞭磨損所引起的光開關的附加插入損耗,結果錶明,所採用的微電磁驅動器磨損引起的附加插入損耗小于0.02 dB,其磨損特性可以滿足光通信開關的要求,實驗結果證明瞭理論分析的正確性.此方法對光開關和MEMS微驅動器的研究具有指導意義.
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