传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
4期
589-592
,共4页
陈伟平%赵振刚%丁金玲%刘晓为%马原芳
陳偉平%趙振剛%丁金玲%劉曉為%馬原芳
진위평%조진강%정금령%류효위%마원방
微机械电子系统%双轴加速度传感器%梳状电极%有限元分析
微機械電子繫統%雙軸加速度傳感器%梳狀電極%有限元分析
미궤계전자계통%쌍축가속도전감기%소상전겁%유한원분석
提出了一种新型的基于体硅工艺的双轴加速度传感器,量程为±50 gn,采用全对称结构,其电容检测部分采用变面积、差分电容式的梳状电极结构.利用有限元分析软件分析得到本文所设计的双轴加速度传感器微结构整体质量为1.174 mg,X、Y轴的灵敏度皆为2.3 fF/g,模态分析结果表明,第一和第二模态振型为两敏感方向的振型,且谐振频率分别为2 774 Hz,2 775 Hz.经过MEMS加工工艺制作出的芯片尺寸为5 260 μm×5 260 μm.经过测试,此双轴加速度传感器的电学灵敏度为33.78 mV/g,谐振频率为2.4 KHz,带宽可达到1.5 KHz.
提齣瞭一種新型的基于體硅工藝的雙軸加速度傳感器,量程為±50 gn,採用全對稱結構,其電容檢測部分採用變麵積、差分電容式的梳狀電極結構.利用有限元分析軟件分析得到本文所設計的雙軸加速度傳感器微結構整體質量為1.174 mg,X、Y軸的靈敏度皆為2.3 fF/g,模態分析結果錶明,第一和第二模態振型為兩敏感方嚮的振型,且諧振頻率分彆為2 774 Hz,2 775 Hz.經過MEMS加工工藝製作齣的芯片呎吋為5 260 μm×5 260 μm.經過測試,此雙軸加速度傳感器的電學靈敏度為33.78 mV/g,諧振頻率為2.4 KHz,帶寬可達到1.5 KHz.
제출료일충신형적기우체규공예적쌍축가속도전감기,량정위±50 gn,채용전대칭결구,기전용검측부분채용변면적、차분전용식적소상전겁결구.이용유한원분석연건분석득도본문소설계적쌍축가속도전감기미결구정체질량위1.174 mg,X、Y축적령민도개위2.3 fF/g,모태분석결과표명,제일화제이모태진형위량민감방향적진형,차해진빈솔분별위2 774 Hz,2 775 Hz.경과MEMS가공공예제작출적심편척촌위5 260 μm×5 260 μm.경과측시,차쌍축가속도전감기적전학령민도위33.78 mV/g,해진빈솔위2.4 KHz,대관가체도1.5 KHz.
