高高宽比硬X射线聚焦波带片的制作
고고관비경X사선취초파대편적제작
Fabrication of High-aspect-ratio Hard X-ray Focusing Zone Plates
  • 万方数据
    微细加工技术 미세가공기술
    MICROFABRICATION TECHNOLOGY
    2008年 6期 9-11 ,共3页

    吴璇%陈军宁%朱效立%牛洁斌%李亚文%胡松%谢常青

    오선%진군저%주효립%우길빈%리아문%호송%사상청

    菲涅尔波带片%硬X射线%X射线光刻%电子束直写%高高宽比 菲涅爾波帶片%硬X射線%X射線光刻%電子束直寫%高高寬比
    비열이파대편%경X사선%X사선광각%전자속직사%고고관비
    相对于软X射线显微成像,硬X射线显微成像对菲涅尔波带片的吸收体厚度提出了更高的要求.采用电子束光刻和X射线光刻复制的方法,在聚酰亚胺薄膜上成功制作了高高宽比的菲涅尔波带片.首先利用电子束光刻和微电镀技术制作了X射线光刻的掩模,然后利用X射线光刻和微电镀制作了高高宽比、线条侧壁陡直的菲涅尔波带片.复制后的波带片最外环宽度500 nm,直径1 mm,吸收体金厚度为3.6μm,高宽比达到7.2,可用于10 keV～25 keV的硬X射线成像.
    상대우연X사선현미성상,경X사선현미성상대비열이파대편적흡수체후도제출료경고적요구.채용전자속광각화X사선광각복제적방법,재취선아알박막상성공제작료고고관비적비열이파대편.수선이용전자속광각화미전도기술제작료X사선광각적엄모,연후이용X사선광각화미전도제작료고고관비、선조측벽두직적비열이파대편.복제후적파대편최외배관도500 nm,직경1 mm,흡수체금후도위3.6μm,고관비체도7.2,가용우10 keV～25 keV적경X사선성상.
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