曲阜师范大学学报（自然科学版）
麯阜師範大學學報（自然科學版）
곡부사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF QUFU NORMAL UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2010年
1期
68-70
,共3页
洪芳%吴福全%郝殿中%张霞%高中扬%邵俊平
洪芳%吳福全%郝殿中%張霞%高中颺%邵俊平
홍방%오복전%학전중%장하%고중양%소준평
薄膜光学%椭圆偏振法%递进式拟合%光学常数
薄膜光學%橢圓偏振法%遞進式擬閤%光學常數
박막광학%타원편진법%체진식의합%광학상수
采用电子束蒸镀法制备SiO2及TiO2光学薄膜.利用法国产JobinYvon UVISEL相调制型椭圆偏振光谱仪作为测试手段,选用适当的色散公式建立物理模型,采用递进式拟合方法,对两种光学薄膜的光学常数及厚度进行了拟合,结果表明:该拟合方法使得衡量拟合结果的均方误差X2,越来越小,获得的薄膜的光学常数及厚度更准确.
採用電子束蒸鍍法製備SiO2及TiO2光學薄膜.利用法國產JobinYvon UVISEL相調製型橢圓偏振光譜儀作為測試手段,選用適噹的色散公式建立物理模型,採用遞進式擬閤方法,對兩種光學薄膜的光學常數及厚度進行瞭擬閤,結果錶明:該擬閤方法使得衡量擬閤結果的均方誤差X2,越來越小,穫得的薄膜的光學常數及厚度更準確.
채용전자속증도법제비SiO2급TiO2광학박막.이용법국산JobinYvon UVISEL상조제형타원편진광보의작위측시수단,선용괄당적색산공식건립물리모형,채용체진식의합방법,대량충광학박막적광학상수급후도진행료의합,결과표명:해의합방법사득형량의합결과적균방오차X2,월래월소,획득적박막적광학상수급후도경준학.
