光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
11期
2693-2702
,共10页
直线超声电机%异步并联%定位平台%机械特性%瞬态特性
直線超聲電機%異步併聯%定位平檯%機械特性%瞬態特性
직선초성전궤%이보병련%정위평태%궤계특성%순태특성
提出了直线超声电机异步并联的概念以提高精密定位平台驱动单元的位移分辨率、输出力及速度.基本原理是若干定子(或振子)在一个振动周期内交替驱动动子(或转子),使实际的驱动频率成倍提高,可以获得更好的输出性能.分析显示,提高定子与动子之间的接触频率可以提高输出力和速度,改善瞬态响应特性,并可避免同步并联方式下定子的相互干扰问题.两种电机异步并联的实验结果表明,两个定子异步并联时的最大负载力比两个定子同步并联提高了30％以上,比两个定子单独驱动时的推力之和提高25％以上.最小分辨率测试实验表明,异步并联时最小位移分辨率达到32.6 nm,是单个电机的62.8％,是同步并联的38.5％.单驱动头电机的实验还表明,异步并联时空载直线速度比单个定子和两个定子同步并联时都提高了10％以上,最大效率比两个定子同步并联驱动时提高约50％,瞬态响应时间比同步并联更短,约为单个定子驱动时的50％.
提齣瞭直線超聲電機異步併聯的概唸以提高精密定位平檯驅動單元的位移分辨率、輸齣力及速度.基本原理是若榦定子(或振子)在一箇振動週期內交替驅動動子(或轉子),使實際的驅動頻率成倍提高,可以穫得更好的輸齣性能.分析顯示,提高定子與動子之間的接觸頻率可以提高輸齣力和速度,改善瞬態響應特性,併可避免同步併聯方式下定子的相互榦擾問題.兩種電機異步併聯的實驗結果錶明,兩箇定子異步併聯時的最大負載力比兩箇定子同步併聯提高瞭30％以上,比兩箇定子單獨驅動時的推力之和提高25％以上.最小分辨率測試實驗錶明,異步併聯時最小位移分辨率達到32.6 nm,是單箇電機的62.8％,是同步併聯的38.5％.單驅動頭電機的實驗還錶明,異步併聯時空載直線速度比單箇定子和兩箇定子同步併聯時都提高瞭10％以上,最大效率比兩箇定子同步併聯驅動時提高約50％,瞬態響應時間比同步併聯更短,約為單箇定子驅動時的50％.
제출료직선초성전궤이보병련적개념이제고정밀정위평태구동단원적위이분변솔、수출력급속도.기본원리시약간정자(혹진자)재일개진동주기내교체구동동자(혹전자),사실제적구동빈솔성배제고,가이획득경호적수출성능.분석현시,제고정자여동자지간적접촉빈솔가이제고수출력화속도,개선순태향응특성,병가피면동보병련방식하정자적상호간우문제.량충전궤이보병련적실험결과표명,량개정자이보병련시적최대부재력비량개정자동보병련제고료30％이상,비량개정자단독구동시적추력지화제고25％이상.최소분변솔측시실험표명,이보병련시최소위이분변솔체도32.6 nm,시단개전궤적62.8％,시동보병련적38.5％.단구동두전궤적실험환표명,이보병련시공재직선속도비단개정자화량개정자동보병련시도제고료10％이상,최대효솔비량개정자동보병련구동시제고약50％,순태향응시간비동보병련경단,약위단개정자구동시적50％.
