金属学报
金屬學報
금속학보
ACTA METALLURGICA SINICA
2005年
8期
809-813
,共5页
周耐根%周浪%宋固全%宋照东
週耐根%週浪%宋固全%宋照東
주내근%주랑%송고전%송조동
Cu膜%Al膜%择优生长%分子动力学
Cu膜%Al膜%擇優生長%分子動力學
Cu막%Al막%택우생장%분자동역학
用分子动力学方法模拟了Cu双晶和Al双晶薄膜的〈111〉生长,模拟时假定在薄膜平面内保持恒定的等轴双向应变,薄膜中两晶粒的能量计算表明:不同晶粒的能量存在差异,能量较低的晶粒在沉积中择优生长,逐渐取代能量较高的晶粒,Cu膜择优生长速率显著高于Al膜;两种薄膜择优生长的机制完全不同,Cu膜中处于不利位向的晶粒通过孪晶过渡转变为择优取向,转变完成、晶界湮灭后薄膜中残留的缺陷为位错;而Al膜则是通过无序结构重结晶实现上述转变,转变完成、晶界湮灭后薄膜中残留的缺陷为间隙原子.文中对上述择优生长驱动力的来源、以及在纳米多晶中的重要性进行了讨论.
用分子動力學方法模擬瞭Cu雙晶和Al雙晶薄膜的〈111〉生長,模擬時假定在薄膜平麵內保持恆定的等軸雙嚮應變,薄膜中兩晶粒的能量計算錶明:不同晶粒的能量存在差異,能量較低的晶粒在沉積中擇優生長,逐漸取代能量較高的晶粒,Cu膜擇優生長速率顯著高于Al膜;兩種薄膜擇優生長的機製完全不同,Cu膜中處于不利位嚮的晶粒通過孿晶過渡轉變為擇優取嚮,轉變完成、晶界湮滅後薄膜中殘留的缺陷為位錯;而Al膜則是通過無序結構重結晶實現上述轉變,轉變完成、晶界湮滅後薄膜中殘留的缺陷為間隙原子.文中對上述擇優生長驅動力的來源、以及在納米多晶中的重要性進行瞭討論.
용분자동역학방법모의료Cu쌍정화Al쌍정박막적〈111〉생장,모의시가정재박막평면내보지항정적등축쌍향응변,박막중량정립적능량계산표명:불동정립적능량존재차이,능량교저적정립재침적중택우생장,축점취대능량교고적정립,Cu막택우생장속솔현저고우Al막;량충박막택우생장적궤제완전불동,Cu막중처우불리위향적정립통과련정과도전변위택우취향,전변완성、정계인멸후박막중잔류적결함위위착;이Al막칙시통과무서결구중결정실현상술전변,전변완성、정계인멸후박막중잔류적결함위간극원자.문중대상술택우생장구동력적래원、이급재납미다정중적중요성진행료토론.
