稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2006年
5期
757-760
,共4页
吴师岗%邵建达%易葵%赵元安%范正修
吳師崗%邵建達%易葵%趙元安%範正脩
오사강%소건체%역규%조원안%범정수
HfO2膜料%杂质%金属%吸收性介质%Zr元素%负离子元素
HfO2膜料%雜質%金屬%吸收性介質%Zr元素%負離子元素
HfO2막료%잡질%금속%흡수성개질%Zr원소%부리자원소
通过对HfO2膜料中杂质元素的分析,找出了影响薄膜性能的主要杂质元素.结果表明:金属元素、吸收性介质元素的存在对薄膜的损毁有很大负面影响;在紫外波段,Zr元素含量大的薄膜吸收较大;并且提出负离子元素在膜料蒸发过程中形成气源中心,产生喷溅,从而使薄膜的损伤阈值降低.
通過對HfO2膜料中雜質元素的分析,找齣瞭影響薄膜性能的主要雜質元素.結果錶明:金屬元素、吸收性介質元素的存在對薄膜的損燬有很大負麵影響;在紫外波段,Zr元素含量大的薄膜吸收較大;併且提齣負離子元素在膜料蒸髮過程中形成氣源中心,產生噴濺,從而使薄膜的損傷閾值降低.
통과대HfO2막료중잡질원소적분석,조출료영향박막성능적주요잡질원소.결과표명:금속원소、흡수성개질원소적존재대박막적손훼유흔대부면영향;재자외파단,Zr원소함량대적박막흡수교대;병차제출부리자원소재막료증발과정중형성기원중심,산생분천,종이사박막적손상역치강저.
