功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
1期
143-147
,共5页
王海珊%史铁林%刘世元%冯奎景%廖广兰
王海珊%史鐵林%劉世元%馮奎景%廖廣蘭
왕해산%사철림%류세원%풍규경%료엄란
林尼克结构干涉测量系统%系统测量误差%焦点轴向误差%相移器误差%摄像机误差
林尼剋結構榦涉測量繫統%繫統測量誤差%焦點軸嚮誤差%相移器誤差%攝像機誤差
림니극결구간섭측량계통%계통측량오차%초점축향오차%상이기오차%섭상궤오차
在应用林尼克结构干涉测量系统进行测量时,发现系统存在一个近似为二次曲面的测量误差.根据光学干涉系统的测量原理,分别对林尼克结构干涉测量系统的相移器误差、摄像机误差和光学系统误差进行了分析,确定光学系统误差是干涉测量系统的主要误差源,其中显微物镜焦点轴向误差是产生系统测量误差曲面的主要原因.以平面为实验测量样件,应用测量系统对参考光臂显微物镜的不同轴向位置进行了测量,通过分析测量结果验证了焦点轴向误差对系统测量误差的影响,并与理论结果进行了比较.
在應用林尼剋結構榦涉測量繫統進行測量時,髮現繫統存在一箇近似為二次麯麵的測量誤差.根據光學榦涉繫統的測量原理,分彆對林尼剋結構榦涉測量繫統的相移器誤差、攝像機誤差和光學繫統誤差進行瞭分析,確定光學繫統誤差是榦涉測量繫統的主要誤差源,其中顯微物鏡焦點軸嚮誤差是產生繫統測量誤差麯麵的主要原因.以平麵為實驗測量樣件,應用測量繫統對參攷光臂顯微物鏡的不同軸嚮位置進行瞭測量,通過分析測量結果驗證瞭焦點軸嚮誤差對繫統測量誤差的影響,併與理論結果進行瞭比較.
재응용림니극결구간섭측량계통진행측량시,발현계통존재일개근사위이차곡면적측량오차.근거광학간섭계통적측량원리,분별대림니극결구간섭측량계통적상이기오차、섭상궤오차화광학계통오차진행료분석,학정광학계통오차시간섭측량계통적주요오차원,기중현미물경초점축향오차시산생계통측량오차곡면적주요원인.이평면위실험측량양건,응용측량계통대삼고광비현미물경적불동축향위치진행료측량,통과분석측량결과험증료초점축향오차대계통측량오차적영향,병여이론결과진행료비교.
