南京大学学报（自然科学版）
南京大學學報（自然科學版）
남경대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF NANJING UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES)
2008年
4期
392-400
,共9页
左则文%闾锦%管文田%濮林%施毅%郑有炓
左則文%閭錦%管文田%濮林%施毅%鄭有炓
좌칙문%려금%관문전%복림%시의%정유료
等离子体化学气相沉积%微结构%晶化率%孵化层
等離子體化學氣相沉積%微結構%晶化率%孵化層
등리자체화학기상침적%미결구%정화솔%부화층
本文采用27.12 MHz等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术制备了氢化微晶硅薄膜材料,通过Ranman散射谱、X射线衍射、扫描电子显微镜、原子力显微镜和傅立叶变换红外谱等表征方法研究了生长条件参数对薄膜结构及生长速率的影响,对薄膜的生长机制进行了讨论,特别分析了孵化层形成和演化、以及对晶化率、柱状品粒生长的作用特征.实验测量分析表明,在薄膜生长的初期阶段,形成-个嵌入大量小晶粒的非品孵化层,并随着薄膜厚度的增加其非品成份减少,晶化率不断提高,晶粒开始长大并结聚成团,形成大的晶粒,沿生长方向上形成横向尺寸为百纳米级的柱状晶粒.红外透射谱的结果证实2 100 Cm-1附近吸收来源于位于晶界区或微孔内表面团簇化的SiH键的吸收.同时,适当的等离子能量在薄膜生长过程中有利于抑制氧的影响.目前的研究加深了对薄膜PECvD生长过程和生长机制的理解,有利于加强对太阳电池用的硅薄膜形态和质量的控制.
本文採用27.12 MHz等離子增彊化學氣相沉積(PECVD)技術製備瞭氫化微晶硅薄膜材料,通過Ranman散射譜、X射線衍射、掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡和傅立葉變換紅外譜等錶徵方法研究瞭生長條件參數對薄膜結構及生長速率的影響,對薄膜的生長機製進行瞭討論,特彆分析瞭孵化層形成和縯化、以及對晶化率、柱狀品粒生長的作用特徵.實驗測量分析錶明,在薄膜生長的初期階段,形成-箇嵌入大量小晶粒的非品孵化層,併隨著薄膜厚度的增加其非品成份減少,晶化率不斷提高,晶粒開始長大併結聚成糰,形成大的晶粒,沿生長方嚮上形成橫嚮呎吋為百納米級的柱狀晶粒.紅外透射譜的結果證實2 100 Cm-1附近吸收來源于位于晶界區或微孔內錶麵糰簇化的SiH鍵的吸收.同時,適噹的等離子能量在薄膜生長過程中有利于抑製氧的影響.目前的研究加深瞭對薄膜PECvD生長過程和生長機製的理解,有利于加彊對太暘電池用的硅薄膜形態和質量的控製.
본문채용27.12 MHz등리자증강화학기상침적(PECVD)기술제비료경화미정규박막재료,통과Ranman산사보、X사선연사、소묘전자현미경、원자력현미경화부립협변환홍외보등표정방법연구료생장조건삼수대박막결구급생장속솔적영향,대박막적생장궤제진행료토론,특별분석료부화층형성화연화、이급대정화솔、주상품립생장적작용특정.실험측량분석표명,재박막생장적초기계단,형성-개감입대량소정립적비품부화층,병수착박막후도적증가기비품성빈감소,정화솔불단제고,정립개시장대병결취성단,형성대적정립,연생장방향상형성횡향척촌위백납미급적주상정립.홍외투사보적결과증실2 100 Cm-1부근흡수래원우위우정계구혹미공내표면단족화적SiH건적흡수.동시,괄당적등리자능량재박막생장과정중유리우억제양적영향.목전적연구가심료대박막PECvD생장과정화생장궤제적리해,유리우가강대태양전지용적규박막형태화질량적공제.
