电子科技大学学报
電子科技大學學報
전자과기대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF ELECTRONIC SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA
2009年
2期
301-304
,共4页
杨成韬%李健雄%许绍俊%王锐%张树人
楊成韜%李健雄%許紹俊%王銳%張樹人
양성도%리건웅%허소준%왕예%장수인
解析解%双压电层%薄膜体声波谐振器%输入阻抗%谐振频率
解析解%雙壓電層%薄膜體聲波諧振器%輸入阻抗%諧振頻率
해석해%쌍압전층%박막체성파해진기%수입조항%해진빈솔
在复合单压电层薄膜体声波谐振器(FBAR)的基础上,提出了一种新型的复合双压电层FBAR,它可以大大提高压电材料选择的灵活性.通过建模得到该结构的输入阻抗解析表达式,据此进行了仿真分析.仿真结果表明,基模谐振频率随双压电层结构中的较高声速压电膜的厚度所占比率的增加而加速增大,而相对带宽随较高机电耦合系数的压电膜的厚度与较低机电耦合系数的压电膜的厚度比的增加逐渐增加,并且复合双压电层FBAR出现了单压电层时所没有的模式.
在複閤單壓電層薄膜體聲波諧振器(FBAR)的基礎上,提齣瞭一種新型的複閤雙壓電層FBAR,它可以大大提高壓電材料選擇的靈活性.通過建模得到該結構的輸入阻抗解析錶達式,據此進行瞭倣真分析.倣真結果錶明,基模諧振頻率隨雙壓電層結構中的較高聲速壓電膜的厚度所佔比率的增加而加速增大,而相對帶寬隨較高機電耦閤繫數的壓電膜的厚度與較低機電耦閤繫數的壓電膜的厚度比的增加逐漸增加,併且複閤雙壓電層FBAR齣現瞭單壓電層時所沒有的模式.
재복합단압전층박막체성파해진기(FBAR)적기출상,제출료일충신형적복합쌍압전층FBAR,타가이대대제고압전재료선택적령활성.통과건모득도해결구적수입조항해석표체식,거차진행료방진분석.방진결과표명,기모해진빈솔수쌍압전층결구중적교고성속압전막적후도소점비솔적증가이가속증대,이상대대관수교고궤전우합계수적압전막적후도여교저궤전우합계수적압전막적후도비적증가축점증가,병차복합쌍압전층FBAR출현료단압전층시소몰유적모식.
