功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2009年
3期
400-402
,共3页
尹盛%曹伯承%赵亮%王敬义
尹盛%曹伯承%趙亮%王敬義
윤성%조백승%조량%왕경의
冷等离子体%冶金级硅%刻蚀%射频
冷等離子體%冶金級硅%刻蝕%射頻
랭등리자체%야금급규%각식%사빈
通过自行设计的冷等离子体粉粒纯化系统,将硅粉撒进辉光放电区,以Ar气为反应气体,利用鞘层区域辉光放电的冷等离子体对硅粉料的作用,进行一系列的处理后,硅粉表面形貌平整度明显提高,纯度从98.75 9,6提高到99.56%.在此基础上,设计射频感应放电等离子体的振动倾斜反应室,经实验,将硅粉纯度提高到99.96 9,6,接近太阳级硅的要求,也为该研究未来的发展提供了新的思路和理论参考.
通過自行設計的冷等離子體粉粒純化繫統,將硅粉撒進輝光放電區,以Ar氣為反應氣體,利用鞘層區域輝光放電的冷等離子體對硅粉料的作用,進行一繫列的處理後,硅粉錶麵形貌平整度明顯提高,純度從98.75 9,6提高到99.56%.在此基礎上,設計射頻感應放電等離子體的振動傾斜反應室,經實驗,將硅粉純度提高到99.96 9,6,接近太暘級硅的要求,也為該研究未來的髮展提供瞭新的思路和理論參攷.
통과자행설계적랭등리자체분립순화계통,장규분살진휘광방전구,이Ar기위반응기체,이용초층구역휘광방전적랭등리자체대규분료적작용,진행일계렬적처리후,규분표면형모평정도명현제고,순도종98.75 9,6제고도99.56%.재차기출상,설계사빈감응방전등리자체적진동경사반응실,경실험,장규분순도제고도99.96 9,6,접근태양급규적요구,야위해연구미래적발전제공료신적사로화이론삼고.
