光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2009年
9期
2441-2446
,共6页
衍射与光栅%龙基(Ronchi)光栅%定量检测%图像处理%非球面
衍射與光柵%龍基(Ronchi)光柵%定量檢測%圖像處理%非毬麵
연사여광책%룡기(Ronchi)광책%정량검측%도상처리%비구면
为了实现对大口径非球面在细磨和初抛光的加工过程中出现的较大误差的测量,提出了将龙基(Ronchi)光栅、图像采集以及数字图像处理技术相结合的一种较大误差的定量测试方法.介绍了该方法的基本原理、建立了数学模型、编制了相应的数字处理软件.利用该方法对一直径为140 mm,F数为2的凹形抛物面镜进行了测试实验.通过该测试方法以及数据处理软件,得到了准确的非球面面形分布图,检测结果与经典的干涉仪检测结果想比较,二者是相一致的.将为大口径非球面精磨和初抛光阶段提供一种有效、可靠的定量检测方法.
為瞭實現對大口徑非毬麵在細磨和初拋光的加工過程中齣現的較大誤差的測量,提齣瞭將龍基(Ronchi)光柵、圖像採集以及數字圖像處理技術相結閤的一種較大誤差的定量測試方法.介紹瞭該方法的基本原理、建立瞭數學模型、編製瞭相應的數字處理軟件.利用該方法對一直徑為140 mm,F數為2的凹形拋物麵鏡進行瞭測試實驗.通過該測試方法以及數據處理軟件,得到瞭準確的非毬麵麵形分佈圖,檢測結果與經典的榦涉儀檢測結果想比較,二者是相一緻的.將為大口徑非毬麵精磨和初拋光階段提供一種有效、可靠的定量檢測方法.
위료실현대대구경비구면재세마화초포광적가공과정중출현적교대오차적측량,제출료장룡기(Ronchi)광책、도상채집이급수자도상처리기술상결합적일충교대오차적정량측시방법.개소료해방법적기본원리、건립료수학모형、편제료상응적수자처리연건.이용해방법대일직경위140 mm,F수위2적요형포물면경진행료측시실험.통과해측시방법이급수거처리연건,득도료준학적비구면면형분포도,검측결과여경전적간섭의검측결과상비교,이자시상일치적.장위대구경비구면정마화초포광계단제공일충유효、가고적정량검측방법.
