科技情报开发与经济
科技情報開髮與經濟
과기정보개발여경제
SCI/TECH INFORMATION DEVELOPMENT & ECONOMY
2009年
31期
117-120
,共4页
磁控溅射镀膜技术%可编程控制器%工控机
磁控濺射鍍膜技術%可編程控製器%工控機
자공천사도막기술%가편정공제기%공공궤
磁控溅射镀膜技术在薄膜制备领域广泛应用,控制系统的设计对磁控溅射镀膜设备的稳定运行有着重要的影响.介绍了基于嵌入式一体化工控机和PLC的真空磁控溅射镀膜设备电气自动控制系统的硬件构成、系统原理、系统功能,论述了其设计思路及方法,并重点叙述了OMRON CJ系列PLC在控制系统中的应用.
磁控濺射鍍膜技術在薄膜製備領域廣汎應用,控製繫統的設計對磁控濺射鍍膜設備的穩定運行有著重要的影響.介紹瞭基于嵌入式一體化工控機和PLC的真空磁控濺射鍍膜設備電氣自動控製繫統的硬件構成、繫統原理、繫統功能,論述瞭其設計思路及方法,併重點敘述瞭OMRON CJ繫列PLC在控製繫統中的應用.
자공천사도막기술재박막제비영역엄범응용,공제계통적설계대자공천사도막설비적은정운행유착중요적영향.개소료기우감입식일체화공공궤화PLC적진공자공천사도막설비전기자동공제계통적경건구성、계통원리、계통공능,논술료기설계사로급방법,병중점서술료OMRON CJ계렬PLC재공제계통중적응용.
