人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2010年
2期
392-395
,共4页
夏冬林%石正忠%张兴良%王慧芳%刘俊
夏鼕林%石正忠%張興良%王慧芳%劉俊
하동림%석정충%장흥량%왕혜방%류준
ZnS薄膜%电沉积%热处理%光学性能
ZnS薄膜%電沉積%熱處理%光學性能
ZnS박막%전침적%열처리%광학성능
采用电沉积方法在氧化铟锡(ITO)导电玻璃上沉积了ZnS薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、紫外-可见光(UV-VIS)分光光度计对薄膜的微结构和光学性能进行了表征,研究了热处理条件对薄膜的相组成和光学性能的影响.结果表明:电沉积制备的ZnS薄膜呈非晶态,并且含有单质Zn.硫化热处理可以改善薄膜的结晶状况,减少杂质Zn的含量.硫气氛中450 ℃热处理4 h之后,薄膜中单质Zn全部反应生产ZnS,得到了纯的ZnS薄膜.没有经过热处理的薄膜,其可见光透射率在70%左右,热处理后薄膜样品的透射率降低,在硫气氛中热处理4 h的样品,其可见光透射率最低,为50%左右,热处理条件对薄膜样品的禁带宽度值基本没有影响.
採用電沉積方法在氧化銦錫(ITO)導電玻璃上沉積瞭ZnS薄膜,利用X射線衍射儀(XRD)、紫外-可見光(UV-VIS)分光光度計對薄膜的微結構和光學性能進行瞭錶徵,研究瞭熱處理條件對薄膜的相組成和光學性能的影響.結果錶明:電沉積製備的ZnS薄膜呈非晶態,併且含有單質Zn.硫化熱處理可以改善薄膜的結晶狀況,減少雜質Zn的含量.硫氣氛中450 ℃熱處理4 h之後,薄膜中單質Zn全部反應生產ZnS,得到瞭純的ZnS薄膜.沒有經過熱處理的薄膜,其可見光透射率在70%左右,熱處理後薄膜樣品的透射率降低,在硫氣氛中熱處理4 h的樣品,其可見光透射率最低,為50%左右,熱處理條件對薄膜樣品的禁帶寬度值基本沒有影響.
채용전침적방법재양화인석(ITO)도전파리상침적료ZnS박막,이용X사선연사의(XRD)、자외-가견광(UV-VIS)분광광도계대박막적미결구화광학성능진행료표정,연구료열처리조건대박막적상조성화광학성능적영향.결과표명:전침적제비적ZnS박막정비정태,병차함유단질Zn.류화열처리가이개선박막적결정상황,감소잡질Zn적함량.류기분중450 ℃열처리4 h지후,박막중단질Zn전부반응생산ZnS,득도료순적ZnS박막.몰유경과열처리적박막,기가견광투사솔재70%좌우,열처리후박막양품적투사솔강저,재류기분중열처리4 h적양품,기가견광투사솔최저,위50%좌우,열처리조건대박막양품적금대관도치기본몰유영향.
