传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2010年
11期
126-127,137
,共3页
徐冬%张宁%董玉荣%卫学峰
徐鼕%張寧%董玉榮%衛學峰
서동%장저%동옥영%위학봉
半导体%弹性梁%传感器%设计
半導體%彈性樑%傳感器%設計
반도체%탄성량%전감기%설계
介绍一种半导体双轴力传感器的结构设计与工作原理,并利用ANSYS软件进行了仿真模拟.通过分析,确定了应变计的粘贴部位和应力分布.传感器试验结果表明:该传感器灵敏度优于0.05 V/N,精度达到0.5%FS,零点漂移小于1%FS/h,热零点漂移小于0.5%FS/℃,满足使用要求.
介紹一種半導體雙軸力傳感器的結構設計與工作原理,併利用ANSYS軟件進行瞭倣真模擬.通過分析,確定瞭應變計的粘貼部位和應力分佈.傳感器試驗結果錶明:該傳感器靈敏度優于0.05 V/N,精度達到0.5%FS,零點漂移小于1%FS/h,熱零點漂移小于0.5%FS/℃,滿足使用要求.
개소일충반도체쌍축력전감기적결구설계여공작원리,병이용ANSYS연건진행료방진모의.통과분석,학정료응변계적점첩부위화응력분포.전감기시험결과표명:해전감기령민도우우0.05 V/N,정도체도0.5%FS,영점표이소우1%FS/h,열영점표이소우0.5%FS/℃,만족사용요구.
