真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2002年
5期
395-398
,共4页
VAPD NbN 沉积膜 抗腐蚀性
VAPD NbN 沉積膜 抗腐蝕性
VAPD NbN 침적막 항부식성
利用磁过滤等离子体沉积技术在单晶Si和碳钢衬底上生长一层NbN沉积膜,用XPS,XRD和SEM对膜层进行测量和分析,结果表明,沉积膜为δ-NbN,沉积膜的质量与样品的衬底温度有关,衬底温度越高,生成的膜越致密,膜的表面越平整光滑.多次循环阳极极化扫描曲线测量表明,沉积膜样品的致钝电流密度(Ip)较碳钢降低(1～2)个数量级,抗腐蚀性能大幅度提高.
利用磁過濾等離子體沉積技術在單晶Si和碳鋼襯底上生長一層NbN沉積膜,用XPS,XRD和SEM對膜層進行測量和分析,結果錶明,沉積膜為δ-NbN,沉積膜的質量與樣品的襯底溫度有關,襯底溫度越高,生成的膜越緻密,膜的錶麵越平整光滑.多次循環暘極極化掃描麯線測量錶明,沉積膜樣品的緻鈍電流密度(Ip)較碳鋼降低(1～2)箇數量級,抗腐蝕性能大幅度提高.
이용자과려등리자체침적기술재단정Si화탄강츤저상생장일층NbN침적막,용XPS,XRD화SEM대막층진행측량화분석,결과표명,침적막위δ-NbN,침적막적질량여양품적츤저온도유관,츤저온도월고,생성적막월치밀,막적표면월평정광활.다차순배양겁겁화소묘곡선측량표명,침적막양품적치둔전류밀도(Ip)교탄강강저(1～2)개수량급,항부식성능대폭도제고.
