物理学报
物理學報
물이학보
2000年
1期
164-169
,共6页
刘波%姜蕾%周筑颖%贺勉鸿%赵国庆%宗祥福
劉波%薑蕾%週築穎%賀勉鴻%趙國慶%宗祥福
류파%강뢰%주축영%하면홍%조국경%종상복
介绍了将离子枪组合于卢瑟福背散射分析靶室中构成Sputtering/RBS原位分析实验装置,用低能离子溅射剥层与高能离子背散射组合对薄膜样品进行成分和深埋层分析方法.给出了对样品分析的三个例子.对Au/Si样品的分析着重讨论了Au在Ar+溅射剥层时的溅射速率;对Si/Ge-Si/Si和WSix/SiO2/Si样品的深埋层分析,提高了样品分析的深度分辨率.讨论了这一Sputtering/RBS组合分析方法的优缺点和在薄膜材料研究中可能的应用.
介紹瞭將離子鎗組閤于盧瑟福揹散射分析靶室中構成Sputtering/RBS原位分析實驗裝置,用低能離子濺射剝層與高能離子揹散射組閤對薄膜樣品進行成分和深埋層分析方法.給齣瞭對樣品分析的三箇例子.對Au/Si樣品的分析著重討論瞭Au在Ar+濺射剝層時的濺射速率;對Si/Ge-Si/Si和WSix/SiO2/Si樣品的深埋層分析,提高瞭樣品分析的深度分辨率.討論瞭這一Sputtering/RBS組閤分析方法的優缺點和在薄膜材料研究中可能的應用.
개소료장리자창조합우로슬복배산사분석파실중구성Sputtering/RBS원위분석실험장치,용저능리자천사박층여고능리자배산사조합대박막양품진행성분화심매층분석방법.급출료대양품분석적삼개례자.대Au/Si양품적분석착중토론료Au재Ar+천사박층시적천사속솔;대Si/Ge-Si/Si화WSix/SiO2/Si양품적심매층분석,제고료양품분석적심도분변솔.토론료저일Sputtering/RBS조합분석방법적우결점화재박막재료연구중가능적응용.
