ZnO:Al薄膜的组织结构与性能
ZnO:Al박막적조직결구여성능
EFFECT OF TEMPERATURE ON THE PROPERTIES OF ZnO THIN FILMS
  • 万方数据
    材料研究学报 재료연구학보
    CHINESE JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH
    2000年 5期 538-542 ,共5页

    裴志亮%谭明晖%杜昊%陈猛%孙超%黄荣芳%闻立时

    배지량%담명휘%두호%진맹%손초%황영방%문립시

    ZnO薄膜%温度%光学吸收边%透射率 ZnO薄膜%溫度%光學吸收邊%透射率
    ZnO박막%온도%광학흡수변%투사솔
    用直流磁控反应溅射合金靶制备了ZnO薄膜,研究了衬底温度和退火温度对薄膜的结构及电学和光学性能的影响.衬底温度升高能改善薄膜的电学特性,其原因是薄膜晶粒尺寸的增大.温度升高导致薄膜基本光学吸收边向短波移动,但对高透射区(450～850nm)的透射率影响不大.
    용직류자공반응천사합금파제비료ZnO박막,연구료츤저온도화퇴화온도대박막적결구급전학화광학성능적영향.츤저온도승고능개선박막적전학특성,기원인시박막정립척촌적증대.온도승고도치박막기본광학흡수변향단파이동,단대고투사구(450～850nm)적투사솔영향불대.
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