红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2004年
4期
313-316
,共4页
李新曦%赖珍荃%王根水%孙璟兰%赵强%褚君浩
李新晞%賴珍荃%王根水%孫璟蘭%趙彊%褚君浩
리신희%뢰진전%왕근수%손경란%조강%저군호
射频溅射%沉积功率%钙钛矿结构%PZT%铁电薄膜
射頻濺射%沉積功率%鈣鈦礦結構%PZT%鐵電薄膜
사빈천사%침적공솔%개태광결구%PZT%철전박막
用射频(RF)溅射法在镀LaNiO3(LNO)底电极的Si片上沉积PbZr0.52Ti0.48O3(PZT)铁电薄膜,沉积过程中基底温度为370℃,然后在大气环境中对沉积的PZT薄膜样品进行快速热退火处理(650℃,5min).用电感耦合等离子体发射光谱(ICP-AES)测量其组分,X射线衍射(XRD)分析PZT薄膜的结晶结构和取向,扫描电子显微镜(SEM)分析薄膜的表面形貌和微结果,RT66A标准铁电综合测试系统分析Pt/PZT/LNO电容器的铁电与介电特性.结果表明,PZT薄膜的组分、结构和性能都与溅射沉积功率有关.
用射頻(RF)濺射法在鍍LaNiO3(LNO)底電極的Si片上沉積PbZr0.52Ti0.48O3(PZT)鐵電薄膜,沉積過程中基底溫度為370℃,然後在大氣環境中對沉積的PZT薄膜樣品進行快速熱退火處理(650℃,5min).用電感耦閤等離子體髮射光譜(ICP-AES)測量其組分,X射線衍射(XRD)分析PZT薄膜的結晶結構和取嚮,掃描電子顯微鏡(SEM)分析薄膜的錶麵形貌和微結果,RT66A標準鐵電綜閤測試繫統分析Pt/PZT/LNO電容器的鐵電與介電特性.結果錶明,PZT薄膜的組分、結構和性能都與濺射沉積功率有關.
용사빈(RF)천사법재도LaNiO3(LNO)저전겁적Si편상침적PbZr0.52Ti0.48O3(PZT)철전박막,침적과정중기저온도위370℃,연후재대기배경중대침적적PZT박막양품진행쾌속열퇴화처리(650℃,5min).용전감우합등리자체발사광보(ICP-AES)측량기조분,X사선연사(XRD)분석PZT박막적결정결구화취향,소묘전자현미경(SEM)분석박막적표면형모화미결과,RT66A표준철전종합측시계통분석Pt/PZT/LNO전용기적철전여개전특성.결과표명,PZT박막적조분、결구화성능도여천사침적공솔유관.
