无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2005年
6期
1475-1480
,共6页
陈同来%李效民%张霞%高相东%于伟东
陳同來%李效民%張霞%高相東%于偉東
진동래%리효민%장하%고상동%우위동
脉冲激光淀积%MgO薄膜%硅衬底%RHEED
脈遲激光澱積%MgO薄膜%硅襯底%RHEED
맥충격광정적%MgO박막%규츤저%RHEED
研究了脉冲激光淀积MgO薄膜的过程中,制备工艺参数对薄膜结晶性的影响.研究发现,MgO薄膜的结晶性主要受控于衬底温度和激光能量密度,而薄膜的生长速率则依赖于脉冲频率、衬底与靶材间的距离以及激光能量密度.通过对比不同靶材,即金属Mg靶和烧结陶瓷MgO靶,对薄膜结晶性的影响,发现通过添加一层TiN籽晶层可以显著改善薄膜的结晶质量.最后在优化的制备工艺参数:衬底温度Ts=873K,激光能量密度DE=7J/cm2,靶材与衬底间距离DsT=70mm,激光脉冲频率FL=5Hz以及采用烧结陶瓷MgO靶材和添加TiN籽晶层的情况下,获得层状生长模式和表面具有原子级平整度的MgO薄膜.
研究瞭脈遲激光澱積MgO薄膜的過程中,製備工藝參數對薄膜結晶性的影響.研究髮現,MgO薄膜的結晶性主要受控于襯底溫度和激光能量密度,而薄膜的生長速率則依賴于脈遲頻率、襯底與靶材間的距離以及激光能量密度.通過對比不同靶材,即金屬Mg靶和燒結陶瓷MgO靶,對薄膜結晶性的影響,髮現通過添加一層TiN籽晶層可以顯著改善薄膜的結晶質量.最後在優化的製備工藝參數:襯底溫度Ts=873K,激光能量密度DE=7J/cm2,靶材與襯底間距離DsT=70mm,激光脈遲頻率FL=5Hz以及採用燒結陶瓷MgO靶材和添加TiN籽晶層的情況下,穫得層狀生長模式和錶麵具有原子級平整度的MgO薄膜.
연구료맥충격광정적MgO박막적과정중,제비공예삼수대박막결정성적영향.연구발현,MgO박막적결정성주요수공우츤저온도화격광능량밀도,이박막적생장속솔칙의뢰우맥충빈솔、츤저여파재간적거리이급격광능량밀도.통과대비불동파재,즉금속Mg파화소결도자MgO파,대박막결정성적영향,발현통과첨가일층TiN자정층가이현저개선박막적결정질량.최후재우화적제비공예삼수:츤저온도Ts=873K,격광능량밀도DE=7J/cm2,파재여츤저간거리DsT=70mm,격광맥충빈솔FL=5Hz이급채용소결도자MgO파재화첨가TiN자정층적정황하,획득층상생장모식화표면구유원자급평정도적MgO박막.
