清洗世界
清洗世界
청세세계
CHEMICAL CLEANING
2006年
1期
38-43
,共6页
宋峰%邹万芳%刘淑静%田彬
宋峰%鄒萬芳%劉淑靜%田彬
송봉%추만방%류숙정%전빈
细小微粒%近场光学聚焦%紫外激光
細小微粒%近場光學聚焦%紫外激光
세소미립%근장광학취초%자외격광
简单介绍了激光清洗在微电子领域应用的优势,分析了激光清洗微电子元件的主要机理以及影响微电子元件清洗的主要因素,最后指出了这方面的应用情况.
簡單介紹瞭激光清洗在微電子領域應用的優勢,分析瞭激光清洗微電子元件的主要機理以及影響微電子元件清洗的主要因素,最後指齣瞭這方麵的應用情況.
간단개소료격광청세재미전자영역응용적우세,분석료격광청세미전자원건적주요궤리이급영향미전자원건청세적주요인소,최후지출료저방면적응용정황.
