中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2005年
z1期
437-440
,共4页
张晔%陈迪%张金娅%朱军%刘景全
張曄%陳迪%張金婭%硃軍%劉景全
장엽%진적%장금아%주군%류경전
UV-LIGA技术%SU-8胶%高深宽比微结构%倒角
UV-LIGA技術%SU-8膠%高深寬比微結構%倒角
UV-LIGA기술%SU-8효%고심관비미결구%도각
基于UV-LIGA技术采用SU-8光刻胶制备了高深宽比微结构,最高深宽比达20:1.研究了改变光源的波长和曝光量对SU-8光刻胶成形的影响,揭示了在一定范围内线宽随曝光量非线性变化的规律.从聚合度和聚合所得高分子结构两方面对该变化规律给出了合理的解释,并基于该变化规律提出了一种新的消除微结构倒角的方法.
基于UV-LIGA技術採用SU-8光刻膠製備瞭高深寬比微結構,最高深寬比達20:1.研究瞭改變光源的波長和曝光量對SU-8光刻膠成形的影響,揭示瞭在一定範圍內線寬隨曝光量非線性變化的規律.從聚閤度和聚閤所得高分子結構兩方麵對該變化規律給齣瞭閤理的解釋,併基于該變化規律提齣瞭一種新的消除微結構倒角的方法.
기우UV-LIGA기술채용SU-8광각효제비료고심관비미결구,최고심관비체20:1.연구료개변광원적파장화폭광량대SU-8광각효성형적영향,게시료재일정범위내선관수폭광량비선성변화적규률.종취합도화취합소득고분자결구량방면대해변화규률급출료합리적해석,병기우해변화규률제출료일충신적소제미결구도각적방법.
