西安交通大学学报
西安交通大學學報
서안교통대학학보
JOURNAL OF XI'AN JIAOTONG UNIVERSITY
2007年
1期
55-58
,共4页
蒋维涛%丁玉成%卢秉恒%刘红忠
蔣維濤%丁玉成%盧秉恆%劉紅忠
장유도%정옥성%로병항%류홍충
纳米压印%点光源映射%粗对正
納米壓印%點光源映射%粗對正
납미압인%점광원영사%조대정
在纳米压印光刻中,为了减小模具与晶片的平行度误差,将精对正光栅标记的相对误差校正到半栅距范围之内,并建立了点光源映射的数学模型,对模具空间位姿的投影进行图像识别.在算法设计的基础上,建立了纳米压印光刻系统中的粗对正系统及其控制流程,通过仿真计算,可以将模型的转角计算精度控制在10-6rad以下,位置偏移量计算精度控制在1 nm以下,所建立的粗对正系统的检测精度可达到1 μm以下,因此满足了压印光刻中下一步精对正系统的要求.
在納米壓印光刻中,為瞭減小模具與晶片的平行度誤差,將精對正光柵標記的相對誤差校正到半柵距範圍之內,併建立瞭點光源映射的數學模型,對模具空間位姿的投影進行圖像識彆.在算法設計的基礎上,建立瞭納米壓印光刻繫統中的粗對正繫統及其控製流程,通過倣真計算,可以將模型的轉角計算精度控製在10-6rad以下,位置偏移量計算精度控製在1 nm以下,所建立的粗對正繫統的檢測精度可達到1 μm以下,因此滿足瞭壓印光刻中下一步精對正繫統的要求.
재납미압인광각중,위료감소모구여정편적평행도오차,장정대정광책표기적상대오차교정도반책거범위지내,병건립료점광원영사적수학모형,대모구공간위자적투영진행도상식별.재산법설계적기출상,건립료납미압인광각계통중적조대정계통급기공제류정,통과방진계산,가이장모형적전각계산정도공제재10-6rad이하,위치편이량계산정도공제재1 nm이하,소건립적조대정계통적검측정도가체도1 μm이하,인차만족료압인광각중하일보정대정계통적요구.
