光电子·激光
光電子·激光
광전자·격광
JOURNAL OF OPTOECTRONICS·LASER
2008年
9期
1188-1191
,共4页
刘成%曹春芳%劳燕锋%曹萌%吴惠桢
劉成%曹春芳%勞燕鋒%曹萌%吳惠楨
류성%조춘방%로연봉%조맹%오혜정
InP/空气隙%侧向腐蚀%微拉曼光谱
InP/空氣隙%側嚮腐蝕%微拉曼光譜
InP/공기극%측향부식%미랍만광보
研究了采用不同溶液制作InP/空气隙的侧向腐蚀工艺,对腐蚀速率、晶向选择性、表面形貌进行了分析;研究了粘附释放工艺;在上述基础上制作完成了InP/空气隙结构,并采用微拉曼光谱来分析其应力分布情况,证实了制作工艺的可靠性.
研究瞭採用不同溶液製作InP/空氣隙的側嚮腐蝕工藝,對腐蝕速率、晶嚮選擇性、錶麵形貌進行瞭分析;研究瞭粘附釋放工藝;在上述基礎上製作完成瞭InP/空氣隙結構,併採用微拉曼光譜來分析其應力分佈情況,證實瞭製作工藝的可靠性.
연구료채용불동용액제작InP/공기극적측향부식공예,대부식속솔、정향선택성、표면형모진행료분석;연구료점부석방공예;재상술기출상제작완성료InP/공기극결구,병채용미랍만광보래분석기응력분포정황,증실료제작공예적가고성.
