济宁学院学报
濟寧學院學報
제저학원학보
JOURNAL OF JINING UNIVERSITY
2008年
6期
25-27
,共3页
椭偏仪%光谱测量%光学常数
橢偏儀%光譜測量%光學常數
타편의%광보측량%광학상수
利用反射式椭偏仪测量SiO2光学薄膜材料的光学常数(折射率n和消光系数k)和厚度,并且对测量结果进行建模和线性拟合,同时获得多个参数Is、Ic、和△的ψ描述.实验结果表明了光谱范围从300nm-800nm的Is、Ic、△(表示电场反射分量的位相差)和ψ(表示电场反射分量的振幅比)的测量结果与拟合结果的符合情况非常好,而折射率在光谱范围和之间出现了严重偏差.
利用反射式橢偏儀測量SiO2光學薄膜材料的光學常數(摺射率n和消光繫數k)和厚度,併且對測量結果進行建模和線性擬閤,同時穫得多箇參數Is、Ic、和△的ψ描述.實驗結果錶明瞭光譜範圍從300nm-800nm的Is、Ic、△(錶示電場反射分量的位相差)和ψ(錶示電場反射分量的振幅比)的測量結果與擬閤結果的符閤情況非常好,而摺射率在光譜範圍和之間齣現瞭嚴重偏差.
이용반사식타편의측량SiO2광학박막재료적광학상수(절사솔n화소광계수k)화후도,병차대측량결과진행건모화선성의합,동시획득다개삼수Is、Ic、화△적ψ묘술.실험결과표명료광보범위종300nm-800nm적Is、Ic、△(표시전장반사분량적위상차)화ψ(표시전장반사분량적진폭비)적측량결과여의합결과적부합정황비상호,이절사솔재광보범위화지간출현료엄중편차.
