光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2009年
5期
83-87
,共5页
王月珠%田义%李洪玉%鞠有伦
王月珠%田義%李洪玉%鞠有倫
왕월주%전의%리홍옥%국유륜
子孔径%干涉检测%全局优化%拼接技术
子孔徑%榦涉檢測%全跼優化%拼接技術
자공경%간섭검측%전국우화%병접기술
为实现小口径干涉仪完成较大口径光学平面镜片的测试,得到镜片的完整面形信息,提出了基于标记点的平面Givens变换,实现了子孔径的精确定位.采用Zemike多项式拟合对每个子孔径数据进行了消倾斜量的处理.建立了全局优化拼接数学模型.利用该模型进行了九孔径拼接计算机仿真实验,利用该方法得到的PV值和RMS值的相对误差均在10-6左右.对直径为150 mm的镜片进行九孔径拼接检测实验,对比全口径干涉检测结果,PV值和RMS值的相对误差为0.36%和2.27%.仿真和实验结果证明:该方法稳定可靠,降低了传统的子孔径拼接干涉检测方法中对导轨的高精度要求.
為實現小口徑榦涉儀完成較大口徑光學平麵鏡片的測試,得到鏡片的完整麵形信息,提齣瞭基于標記點的平麵Givens變換,實現瞭子孔徑的精確定位.採用Zemike多項式擬閤對每箇子孔徑數據進行瞭消傾斜量的處理.建立瞭全跼優化拼接數學模型.利用該模型進行瞭九孔徑拼接計算機倣真實驗,利用該方法得到的PV值和RMS值的相對誤差均在10-6左右.對直徑為150 mm的鏡片進行九孔徑拼接檢測實驗,對比全口徑榦涉檢測結果,PV值和RMS值的相對誤差為0.36%和2.27%.倣真和實驗結果證明:該方法穩定可靠,降低瞭傳統的子孔徑拼接榦涉檢測方法中對導軌的高精度要求.
위실현소구경간섭의완성교대구경광학평면경편적측시,득도경편적완정면형신식,제출료기우표기점적평면Givens변환,실현료자공경적정학정위.채용Zemike다항식의합대매개자공경수거진행료소경사량적처리.건립료전국우화병접수학모형.이용해모형진행료구공경병접계산궤방진실험,이용해방법득도적PV치화RMS치적상대오차균재10-6좌우.대직경위150 mm적경편진행구공경병접검측실험,대비전구경간섭검측결과,PV치화RMS치적상대오차위0.36%화2.27%.방진화실험결과증명:해방법은정가고,강저료전통적자공경병접간섭검측방법중대도궤적고정도요구.
