光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
4期
709-716
,共8页
黎发志%罗霄%赵晶丽%薛栋林%郑立功%张学军
黎髮誌%囉霄%趙晶麗%薛棟林%鄭立功%張學軍
려발지%라소%조정려%설동림%정립공%장학군
计算全息图%衍射光学元件加工%离轴非球面%光学检测
計算全息圖%衍射光學元件加工%離軸非毬麵%光學檢測
계산전식도%연사광학원건가공%리축비구면%광학검측
为了实现离轴非球面高精度定位、光路对准及面形检验,提出了一种使用计算全息图(CGH)技术实现离轴非球面高精度光学检测的方法.将被检非球面倾斜平移后作为轴上自由曲面进行CGH补偿检测设计,从而减小了检测光路的相对口径和CGH所需补偿像差,提高了CGH检测精度.使用自行开发的CGH专用设计计算软件,设计完成的CGH同时具有非球面检验、检测光路对准、被检非球面基准定位等多项功能.采用该方法设计(设计精度优于λ/10 000 rms)并制作CGH对面形精度优于λ/50 rms的离轴非球面进行了检测,误差分析表明,其检测精度优于λ/100,与传统null-lens方法的检测结果精确吻合.实验表明,采用该CGH可同时实现离轴非球面位置高精度定位、CGH与干涉仪对准以及离轴非球面高精度面形检验.
為瞭實現離軸非毬麵高精度定位、光路對準及麵形檢驗,提齣瞭一種使用計算全息圖(CGH)技術實現離軸非毬麵高精度光學檢測的方法.將被檢非毬麵傾斜平移後作為軸上自由麯麵進行CGH補償檢測設計,從而減小瞭檢測光路的相對口徑和CGH所需補償像差,提高瞭CGH檢測精度.使用自行開髮的CGH專用設計計算軟件,設計完成的CGH同時具有非毬麵檢驗、檢測光路對準、被檢非毬麵基準定位等多項功能.採用該方法設計(設計精度優于λ/10 000 rms)併製作CGH對麵形精度優于λ/50 rms的離軸非毬麵進行瞭檢測,誤差分析錶明,其檢測精度優于λ/100,與傳統null-lens方法的檢測結果精確吻閤.實驗錶明,採用該CGH可同時實現離軸非毬麵位置高精度定位、CGH與榦涉儀對準以及離軸非毬麵高精度麵形檢驗.
위료실현리축비구면고정도정위、광로대준급면형검험,제출료일충사용계산전식도(CGH)기술실현리축비구면고정도광학검측적방법.장피검비구면경사평이후작위축상자유곡면진행CGH보상검측설계,종이감소료검측광로적상대구경화CGH소수보상상차,제고료CGH검측정도.사용자행개발적CGH전용설계계산연건,설계완성적CGH동시구유비구면검험、검측광로대준、피검비구면기준정위등다항공능.채용해방법설계(설계정도우우λ/10 000 rms)병제작CGH대면형정도우우λ/50 rms적리축비구면진행료검측,오차분석표명,기검측정도우우λ/100,여전통null-lens방법적검측결과정학문합.실험표명,채용해CGH가동시실현리축비구면위치고정도정위、CGH여간섭의대준이급리축비구면고정도면형검험.
