功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2011年
6期
1001-1003
,共3页
王果%卢景霄%李新利%高海波%焦岳超%李瑞
王果%盧景霄%李新利%高海波%焦嶽超%李瑞
왕과%로경소%리신리%고해파%초악초%리서
p型微晶硅%退火%PECVD%晶化率%表面粗糙度
p型微晶硅%退火%PECVD%晶化率%錶麵粗糙度
p형미정규%퇴화%PECVD%정화솔%표면조조도
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RFPECVD)法制备了不同硼烷掺杂比例的微晶硅薄膜.随后在不同温度、不同气氛下,对沉积得到的P型微晶硅薄膜进行了退火处理.研究发现,对初始晶化率较高的薄膜,退火后其晶化率发生下降;初始晶化率较低的薄膜,退火后其晶化率则有所提高;并且,在高真空中退火更有利于薄膜的晶化.退火后,薄膜表面粗糙度的变化情况受其初始晶化率的影响;薄膜的暗电导率有大幅度的增加.其中,掺杂浓度较高的薄膜,在真空退火后其晶化率、表面粗糙度和电导都有显著的提高.
採用射頻等離子體增彊化學氣相沉積(RFPECVD)法製備瞭不同硼烷摻雜比例的微晶硅薄膜.隨後在不同溫度、不同氣氛下,對沉積得到的P型微晶硅薄膜進行瞭退火處理.研究髮現,對初始晶化率較高的薄膜,退火後其晶化率髮生下降;初始晶化率較低的薄膜,退火後其晶化率則有所提高;併且,在高真空中退火更有利于薄膜的晶化.退火後,薄膜錶麵粗糙度的變化情況受其初始晶化率的影響;薄膜的暗電導率有大幅度的增加.其中,摻雜濃度較高的薄膜,在真空退火後其晶化率、錶麵粗糙度和電導都有顯著的提高.
채용사빈등리자체증강화학기상침적(RFPECVD)법제비료불동붕완참잡비례적미정규박막.수후재불동온도、불동기분하,대침적득도적P형미정규박막진행료퇴화처리.연구발현,대초시정화솔교고적박막,퇴화후기정화솔발생하강;초시정화솔교저적박막,퇴화후기정화솔칙유소제고;병차,재고진공중퇴화경유리우박막적정화.퇴화후,박막표면조조도적변화정황수기초시정화솔적영향;박막적암전도솔유대폭도적증가.기중,참잡농도교고적박막,재진공퇴화후기정화솔、표면조조도화전도도유현저적제고.
