长春理工大学学报
長春理工大學學報
장춘리공대학학보
JOURNAL OF CHANGCHUN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
2004年
3期
18-19
,共2页
光电器件%纳米级加工%高速研磨
光電器件%納米級加工%高速研磨
광전기건%납미급가공%고속연마
论文探讨了采用固着磨料高速研磨进行纳米级加工的有关问题.采用固着磨料高速研磨加工技术加工光电器件,使工件已加工表面粗糙度达Ra2.88nm, 平面度达19nm,不仅实现了纳米级加工,而且还实现了高效率、低成本加工.
論文探討瞭採用固著磨料高速研磨進行納米級加工的有關問題.採用固著磨料高速研磨加工技術加工光電器件,使工件已加工錶麵粗糙度達Ra2.88nm, 平麵度達19nm,不僅實現瞭納米級加工,而且還實現瞭高效率、低成本加工.
논문탐토료채용고착마료고속연마진행납미급가공적유관문제.채용고착마료고속연마가공기술가공광전기건,사공건이가공표면조조도체Ra2.88nm, 평면도체19nm,불부실현료납미급가공,이차환실현료고효솔、저성본가공.
