光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2005年
1期
85-88
,共4页
氢传感器%表面等离子共振%数值模拟%Pd膜
氫傳感器%錶麵等離子共振%數值模擬%Pd膜
경전감기%표면등리자공진%수치모의%Pd막
提出了一种钯(Pd)膜氢敏感表面等离子共振传感器结构,该传感器以镀在棱镜端面的Pd作为氢敏感膜.Pd膜吸氢以后发生化学反应,生成的PdHx使折射率发生变化,同时,它作为金属膜产生SPW,当折射率变化时又在金属和介质表面产生表面等离子共振.利用Fortran语言程序进行了表面等离子共振氢敏传感器的Pd膜厚度和传感器灵敏度数值模拟.氢气浓度的变化引起折射率的变化,数值模拟表明,表面等离子共振氢敏传感器的灵敏度与Pd膜厚度有关,当Pd膜的厚度在10-30nm时,氢气浓度在1%-10%范围内具有较高的灵敏度.这种传感器结构将用于监测氢气作燃料的商用和军用机车的氢气泄漏.
提齣瞭一種鈀(Pd)膜氫敏感錶麵等離子共振傳感器結構,該傳感器以鍍在稜鏡耑麵的Pd作為氫敏感膜.Pd膜吸氫以後髮生化學反應,生成的PdHx使摺射率髮生變化,同時,它作為金屬膜產生SPW,噹摺射率變化時又在金屬和介質錶麵產生錶麵等離子共振.利用Fortran語言程序進行瞭錶麵等離子共振氫敏傳感器的Pd膜厚度和傳感器靈敏度數值模擬.氫氣濃度的變化引起摺射率的變化,數值模擬錶明,錶麵等離子共振氫敏傳感器的靈敏度與Pd膜厚度有關,噹Pd膜的厚度在10-30nm時,氫氣濃度在1%-10%範圍內具有較高的靈敏度.這種傳感器結構將用于鑑測氫氣作燃料的商用和軍用機車的氫氣洩漏.
제출료일충파(Pd)막경민감표면등리자공진전감기결구,해전감기이도재릉경단면적Pd작위경민감막.Pd막흡경이후발생화학반응,생성적PdHx사절사솔발생변화,동시,타작위금속막산생SPW,당절사솔변화시우재금속화개질표면산생표면등리자공진.이용Fortran어언정서진행료표면등리자공진경민전감기적Pd막후도화전감기령민도수치모의.경기농도적변화인기절사솔적변화,수치모의표명,표면등리자공진경민전감기적령민도여Pd막후도유관,당Pd막적후도재10-30nm시,경기농도재1%-10%범위내구유교고적령민도.저충전감기결구장용우감측경기작연료적상용화군용궤차적경기설루.
