微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2005年
3期
268-269,274
,共3页
曾大富%刘建华%罗驰
曾大富%劉建華%囉馳
증대부%류건화%라치
MEMS%传感器%谐振梁%压力传感器%真空密封
MEMS%傳感器%諧振樑%壓力傳感器%真空密封
MEMS%전감기%해진량%압력전감기%진공밀봉
文章介绍了MEMS传感器的几种真空密封方法,提出了一种真空密封方法的设想.
文章介紹瞭MEMS傳感器的幾種真空密封方法,提齣瞭一種真空密封方法的設想.
문장개소료MEMS전감기적궤충진공밀봉방법,제출료일충진공밀봉방법적설상.
