华中师范大学学报（自然科学版）
華中師範大學學報（自然科學版）
화중사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CENTRAL CHINA NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES)
2007年
4期
543-545
,共3页
张峰%黄致新%胡曾%崔增丽%董凯峰%杨晓非
張峰%黃緻新%鬍曾%崔增麗%董凱峰%楊曉非
장봉%황치신%호증%최증려%동개봉%양효비
Cu底层%磁控溅射%SmCo薄膜%矫顽力
Cu底層%磁控濺射%SmCo薄膜%矯頑力
Cu저층%자공천사%SmCo박막%교완력
通过多靶射频磁控溅射系统在玻璃基片上制备了SmCo/Cu磁性薄膜.采用控制变量法优化了磁性层溅射工艺参数,制备出了矫顽力高达2400 Oe的溅射态SmCo面内磁化膜;通过控制溅射Cu底层时的基片温度,薄膜磁化方向有从面内向垂直方向转变的趋势,并制备出矫顽力达到6215 Oe的垂直面内方向的SmCo/Cu薄膜;利用扫描隧道显微镜(STM)分析SmCo薄膜在不同温度下的表面形貌发现,150℃时薄膜的晶粒尺寸较小有利于改善薄膜磁性能.
通過多靶射頻磁控濺射繫統在玻璃基片上製備瞭SmCo/Cu磁性薄膜.採用控製變量法優化瞭磁性層濺射工藝參數,製備齣瞭矯頑力高達2400 Oe的濺射態SmCo麵內磁化膜;通過控製濺射Cu底層時的基片溫度,薄膜磁化方嚮有從麵內嚮垂直方嚮轉變的趨勢,併製備齣矯頑力達到6215 Oe的垂直麵內方嚮的SmCo/Cu薄膜;利用掃描隧道顯微鏡(STM)分析SmCo薄膜在不同溫度下的錶麵形貌髮現,150℃時薄膜的晶粒呎吋較小有利于改善薄膜磁性能.
통과다파사빈자공천사계통재파리기편상제비료SmCo/Cu자성박막.채용공제변량법우화료자성층천사공예삼수,제비출료교완력고체2400 Oe적천사태SmCo면내자화막;통과공제천사Cu저층시적기편온도,박막자화방향유종면내향수직방향전변적추세,병제비출교완력체도6215 Oe적수직면내방향적SmCo/Cu박막;이용소묘수도현미경(STM)분석SmCo박막재불동온도하적표면형모발현,150℃시박막적정립척촌교소유리우개선박막자성능.
