CAJ | 학술논문

报道了用反应溅射的方法在有强立方织构的NiW基带上连续制备Y2O3隔离层的研究结果.用X射线θ～2θ扫描,ψ扫描对薄膜的取向和织构进行表征,用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的表面形貌进行观察.论文主要研究了H2O分压对Y2O3隔离层外延生长以及表面形貌的影响,结果表明:H2O分压过小,Y2O3织构相对衬底有所弱化,薄膜表面不透明,原子覆盖不均匀,且不利于后续隔离层YSZ的生长.同时,临界H2O分压与温度和总气压的关系也作了详细研究.
보도료용반응천사적방법재유강립방직구적NiW기대상련속제비Y2O3격리층적연구결과.용X사선θ～2θ소묘,ψ소묘대박막적취향화직구진행표정,용소묘전자현미경(SEM)화원자력현미경(AFM)대박막적표면형모진행관찰.논문주요연구료H2O분압대Y2O3격리층외연생장이급표면형모적영향,결과표명:H2O분압과소,Y2O3직구상대츤저유소약화,박막표면불투명,원자복개불균균,차불리우후속격리층YSZ적생장.동시,림계H2O분압여온도화총기압적관계야작료상세연구.