离子束清洗对光学太阳反射镜(OSR)性能的影响研究
리자속청세대광학태양반사경(OSR)성능적영향연구
INFLUENCE OF ION BEAM CLEANING ON PROPERTIES OF OPTICAL SOLAR REFLECTOR
  • 万方数据
    真空与低温 진공여저온
    VACUUM AND CRYOGENICS
    2008年 3期 149-151 ,共3页

    赵印中%许旻%李林%何延春%王洁冰%吴春华%邱家稳

    조인중%허민%리림%하연춘%왕길빙%오춘화%구가은

    离子束清洗%OSR%膜层附着力 離子束清洗%OSR%膜層附著力
    리자속청세%OSR%막층부착력
    主要通过调整离子束清洗时间、清洗气氛、清洗功率(电流)等工艺参数,并结合OSR的膜层附着力测试以及光学性能测试,研究了离子束清洗各工艺参数对OSR性能的影响.结果表明,离子束清洗可以显著提高OSR的膜层附着力.
    주요통과조정리자속청세시간、청세기분、청세공솔(전류)등공예삼수,병결합OSR적막층부착력측시이급광학성능측시,연구료리자속청세각공예삼수대OSR성능적영향.결과표명,리자속청세가이현저제고OSR적막층부착력.
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