机械制造
機械製造
궤계제조
MACHINERY
2009年
4期
70-72
,共3页
曲面%光学零件%在线检测%补偿加工
麯麵%光學零件%在線檢測%補償加工
곡면%광학령건%재선검측%보상가공
提出了一种基于在线面形检测与补偿加工相结合的光学曲面零件的超精密加工方法,在线面形检测系统由空气静压浮动探针和光纤式激光干涉位移计构成.利用该加工方法实际加工了一个光学球面零件,其综合面形精度达到了P-V值0.41 μm.
提齣瞭一種基于在線麵形檢測與補償加工相結閤的光學麯麵零件的超精密加工方法,在線麵形檢測繫統由空氣靜壓浮動探針和光纖式激光榦涉位移計構成.利用該加工方法實際加工瞭一箇光學毬麵零件,其綜閤麵形精度達到瞭P-V值0.41 μm.
제출료일충기우재선면형검측여보상가공상결합적광학곡면령건적초정밀가공방법,재선면형검측계통유공기정압부동탐침화광섬식격광간섭위이계구성.이용해가공방법실제가공료일개광학구면령건,기종합면형정도체도료P-V치0.41 μm.
