传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2010年
9期
42-44
,共3页
射频MEMS%开关线性移相器%插入损耗
射頻MEMS%開關線性移相器%插入損耗
사빈MEMS%개관선성이상기%삽입손모
讨论了一种应用于X波段开关线型移相器中的新型低弹性系数RF-MEMS静电式开关的设计.通过对多臂梁式结构RF-MEMS开关的力学性能和电学性能进行有限元仿真和优化,开关的弹性系数为17.63N/m.在10GHz的工作频率下,此RF-MEMS开关驱动电压为36.5V,移相器的插入损耗小于9dB.
討論瞭一種應用于X波段開關線型移相器中的新型低彈性繫數RF-MEMS靜電式開關的設計.通過對多臂樑式結構RF-MEMS開關的力學性能和電學性能進行有限元倣真和優化,開關的彈性繫數為17.63N/m.在10GHz的工作頻率下,此RF-MEMS開關驅動電壓為36.5V,移相器的插入損耗小于9dB.
토론료일충응용우X파단개관선형이상기중적신형저탄성계수RF-MEMS정전식개관적설계.통과대다비량식결구RF-MEMS개관적역학성능화전학성능진행유한원방진화우화,개관적탄성계수위17.63N/m.재10GHz적공작빈솔하,차RF-MEMS개관구동전압위36.5V,이상기적삽입손모소우9dB.
