西安工业大学学报
西安工業大學學報
서안공업대학학보
JOURNAL OF XI'AN TECHNOLOGICAL UNIVERSITY
2012年
8期
613-616
,共4页
周顺%刘卫国%蔡长龙%刘欢%秦文罡
週順%劉衛國%蔡長龍%劉歡%秦文罡
주순%류위국%채장룡%류환%진문강
红外景物产生器%微桥%微加工技术%SiOx%TiWN
紅外景物產生器%微橋%微加工技術%SiOx%TiWN
홍외경물산생기%미교%미가공기술%SiOx%TiWN
为了进一步提高电阻阵列红外景物产生器的性能,设计并制作了该器件的微桥结构.利用SiOx与TiWN分别作为微桥结构的介电材料与电阻材料;利用表面工艺技术制作160×120阵列微桥结构;并对微桥结构进行了热学性能的仿真分析.研究结果表明:所设计的工艺流程可行,成功制作了微桥结构阵列;制作的微桥桥面具有良好的温度分布均匀性;在相同电功率下,采用低热导率的SiOx薄膜取代SiNx薄膜能够显著提高桥面温度.
為瞭進一步提高電阻陣列紅外景物產生器的性能,設計併製作瞭該器件的微橋結構.利用SiOx與TiWN分彆作為微橋結構的介電材料與電阻材料;利用錶麵工藝技術製作160×120陣列微橋結構;併對微橋結構進行瞭熱學性能的倣真分析.研究結果錶明:所設計的工藝流程可行,成功製作瞭微橋結構陣列;製作的微橋橋麵具有良好的溫度分佈均勻性;在相同電功率下,採用低熱導率的SiOx薄膜取代SiNx薄膜能夠顯著提高橋麵溫度.
위료진일보제고전조진렬홍외경물산생기적성능,설계병제작료해기건적미교결구.이용SiOx여TiWN분별작위미교결구적개전재료여전조재료;이용표면공예기술제작160×120진렬미교결구;병대미교결구진행료열학성능적방진분석.연구결과표명:소설계적공예류정가행,성공제작료미교결구진렬;제작적미교교면구유량호적온도분포균균성;재상동전공솔하,채용저열도솔적SiOx박막취대SiNx박막능구현저제고교면온도.
