武汉大学学报(理学版)
武漢大學學報(理學版)
무한대학학보(이학판)
JOURNAL OF WUHAN UNIVERSITY(Natural Science Edition)
2002年
3期
339-342
,共4页
董浩%黎明锴%刘传胜%付强%卢宁%范湘军
董浩%黎明鍇%劉傳勝%付彊%盧寧%範湘軍
동호%려명개%류전성%부강%로저%범상군
AlN薄膜%中频脉冲磁控溅射%X射线衍射%透光性
AlN薄膜%中頻脈遲磁控濺射%X射線衍射%透光性
AlN박막%중빈맥충자공천사%X사선연사%투광성
使用中频脉冲磁控溅射技术分别在Si(111) 、玻璃以及高速钢基底上沉积AlN薄膜. 利用X射线衍射、X射线光电子能谱、扫描电镜、紫外荧光、FTIR、精密阻抗分析仪等研究了薄膜的结构、光学及电学性质. 结果表明,生成的(002)取向的多晶AlN薄膜在可见光区域平均透过率超过75%,在紫外区域也具有较高的透过率,在低频交流区域具有良好的绝缘性.
使用中頻脈遲磁控濺射技術分彆在Si(111) 、玻璃以及高速鋼基底上沉積AlN薄膜. 利用X射線衍射、X射線光電子能譜、掃描電鏡、紫外熒光、FTIR、精密阻抗分析儀等研究瞭薄膜的結構、光學及電學性質. 結果錶明,生成的(002)取嚮的多晶AlN薄膜在可見光區域平均透過率超過75%,在紫外區域也具有較高的透過率,在低頻交流區域具有良好的絕緣性.
사용중빈맥충자공천사기술분별재Si(111) 、파리이급고속강기저상침적AlN박막. 이용X사선연사、X사선광전자능보、소묘전경、자외형광、FTIR、정밀조항분석의등연구료박막적결구、광학급전학성질. 결과표명,생성적(002)취향적다정AlN박막재가견광구역평균투과솔초과75%,재자외구역야구유교고적투과솔,재저빈교류구역구유량호적절연성.
