山西师范大学学报（自然科学版）
山西師範大學學報（自然科學版）
산서사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SHANXI TEACHER'S UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2006年
2期
29-31
,共3页
Sol-Gel%BaTiO3薄膜%电学性能
Sol-Gel%BaTiO3薄膜%電學性能
Sol-Gel%BaTiO3박막%전학성능
利用溶胶-凝胶法(Sol-Gel)制备BaTiO3薄膜,介绍了Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底及BaTiO3薄膜的制备工艺过程,对薄膜的表面形貌进行了观察分析,同时对其介电与频率关系进行了测试.结论显示,经900℃、120min退火处理的BaTiO3薄膜的结晶性能优良,并具有一定的电学性能.
利用溶膠-凝膠法(Sol-Gel)製備BaTiO3薄膜,介紹瞭Pt/Ti/SiO2/Si(100)襯底及BaTiO3薄膜的製備工藝過程,對薄膜的錶麵形貌進行瞭觀察分析,同時對其介電與頻率關繫進行瞭測試.結論顯示,經900℃、120min退火處理的BaTiO3薄膜的結晶性能優良,併具有一定的電學性能.
이용용효-응효법(Sol-Gel)제비BaTiO3박막,개소료Pt/Ti/SiO2/Si(100)츤저급BaTiO3박막적제비공예과정,대박막적표면형모진행료관찰분석,동시대기개전여빈솔관계진행료측시.결론현시,경900℃、120min퇴화처리적BaTiO3박막적결정성능우량,병구유일정적전학성능.
