p-ZnO薄膜的制备及其微结构测试与分析
p-ZnO박막적제비급기미결구측시여분석
The Preparation of p-type ZnO Films and Their Microstructure Measurement and Analysis
  • 万方数据
    五邑大学学报（自然科学版） 오읍대학학보（자연과학판）
    JOURNAL OF WUYI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
    2008年 3期 10-13 ,共4页

    陈毅湛%丁瑞钦%朱慧群%黎扬钢%丁晓贵%杨柳%黄鑫钿%齐德备%谭军

    진의담%정서흠%주혜군%려양강%정효귀%양류%황흠전%제덕비%담군

    p-ZnO薄膜%退火工艺%X射线衍射 p-ZnO薄膜%退火工藝%X射線衍射
    p-ZnO박막%퇴화공예%X사선연사
    报道了几种不同的p型ZnO薄膜的制备工艺对其薄膜微观结构的影响.结果表明:ZnO薄膜的结晶度、C轴取向程度、内应力均与制备工艺条件有密切的关系,并对这些关系的机理做了分析和探讨.
    보도료궤충불동적p형ZnO박막적제비공예대기박막미관결구적영향.결과표명:ZnO박막적결정도、C축취향정도、내응력균여제비공예조건유밀절적관계,병대저사관계적궤리주료분석화탐토.
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