重庆师范大学学报(自然科学版)
重慶師範大學學報(自然科學版)
중경사범대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF CHONGQING NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2009年
1期
85-88
,共4页
孙彩芹%杨晓红%闫勇彦%张召涛
孫綵芹%楊曉紅%閆勇彥%張召濤
손채근%양효홍%염용언%장소도
直流磁控溅射%氧浓度%Ti/WO3薄膜%微结构%透射率
直流磁控濺射%氧濃度%Ti/WO3薄膜%微結構%透射率
직류자공천사%양농도%Ti/WO3박막%미결구%투사솔
在不同氧浓度下,采用直流反应磁控溅射技术在玻璃基片上制备了Ti掺杂的WO3 薄膜并在450 ℃退火.用X射线衍射(XRD)、分光光度计、台阶仪等对薄膜的结构和光学性质进行表征,分析了不同氧浓度对气敏薄膜的透光率、微结构及光学带隙的影响.结果表明,氧浓度增大,沉积速率越慢,膜厚度减小,薄膜的平均晶粒尺寸增大,晶面间距增大;透射率曲线随着氧浓度的增加逐渐向短波方向移动,表明薄膜的光学带隙宽度随氧浓度的增大而变大.
在不同氧濃度下,採用直流反應磁控濺射技術在玻璃基片上製備瞭Ti摻雜的WO3 薄膜併在450 ℃退火.用X射線衍射(XRD)、分光光度計、檯階儀等對薄膜的結構和光學性質進行錶徵,分析瞭不同氧濃度對氣敏薄膜的透光率、微結構及光學帶隙的影響.結果錶明,氧濃度增大,沉積速率越慢,膜厚度減小,薄膜的平均晶粒呎吋增大,晶麵間距增大;透射率麯線隨著氧濃度的增加逐漸嚮短波方嚮移動,錶明薄膜的光學帶隙寬度隨氧濃度的增大而變大.
재불동양농도하,채용직류반응자공천사기술재파리기편상제비료Ti참잡적WO3 박막병재450 ℃퇴화.용X사선연사(XRD)、분광광도계、태계의등대박막적결구화광학성질진행표정,분석료불동양농도대기민박막적투광솔、미결구급광학대극적영향.결과표명,양농도증대,침적속솔월만,막후도감소,박막적평균정립척촌증대,정면간거증대;투사솔곡선수착양농도적증가축점향단파방향이동,표명박막적광학대극관도수양농도적증대이변대.
