洁净与空调技术
潔淨與空調技術
길정여공조기술
CONTAMINATION CONTROL & AIR-CONDITIONING TECHNOLOGY
2008年
4期
73-76
,共4页
洁净室%控制技术%纳米技术%粒子
潔淨室%控製技術%納米技術%粒子
길정실%공제기술%납미기술%입자
通过对以纳米技术为代表的高新技术产品的特性和其对洁净室的要求的研究,分析了高新技术企业洁净室污染的主要因素和控制理念、内容、程序,并以半导体中的污染控制技术为例,对其进行了详细介绍.
通過對以納米技術為代錶的高新技術產品的特性和其對潔淨室的要求的研究,分析瞭高新技術企業潔淨室汙染的主要因素和控製理唸、內容、程序,併以半導體中的汙染控製技術為例,對其進行瞭詳細介紹.
통과대이납미기술위대표적고신기술산품적특성화기대길정실적요구적연구,분석료고신기술기업길정실오염적주요인소화공제이념、내용、정서,병이반도체중적오염공제기술위례,대기진행료상세개소.
