影像科学与光化学
影像科學與光化學
영상과학여광화학
IMAGING SCIENCE AND PHOTOCHEMISTRY
2009年
5期
379-390
,共12页
浸没式光刻%光刻胶%主体树脂%光致产酸剂
浸沒式光刻%光刻膠%主體樹脂%光緻產痠劑
침몰식광각%광각효%주체수지%광치산산제
浸没式光刻技术是在原干法光刻的基础上采用高折射率浸没液体取代原来空气的空间,从而提高光刻分辨率的一种先进技术. 此项技术的实际应用,为当前IC产业的飞速发展起到了关键的作用. 本文概述了浸没式光刻技术的发展历程和浸没式光刻胶遇到的挑战及要求;对浸没式光刻胶主体树脂、光致产酸剂及添加剂的研究进展进行了综述;最后对浸没式光刻胶的研究发展方向作了进一步的探讨及初步预测.
浸沒式光刻技術是在原榦法光刻的基礎上採用高摺射率浸沒液體取代原來空氣的空間,從而提高光刻分辨率的一種先進技術. 此項技術的實際應用,為噹前IC產業的飛速髮展起到瞭關鍵的作用. 本文概述瞭浸沒式光刻技術的髮展歷程和浸沒式光刻膠遇到的挑戰及要求;對浸沒式光刻膠主體樹脂、光緻產痠劑及添加劑的研究進展進行瞭綜述;最後對浸沒式光刻膠的研究髮展方嚮作瞭進一步的探討及初步預測.
침몰식광각기술시재원간법광각적기출상채용고절사솔침몰액체취대원래공기적공간,종이제고광각분변솔적일충선진기술. 차항기술적실제응용,위당전IC산업적비속발전기도료관건적작용. 본문개술료침몰식광각기술적발전역정화침몰식광각효우도적도전급요구;대침몰식광각효주체수지、광치산산제급첨가제적연구진전진행료종술;최후대침몰식광각효적연구발전방향작료진일보적탐토급초보예측.
