材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2012年
8期
14-16
,共3页
周艺%欧衍聪%郭长春%肖斌%何文红%黄岳文%金井升
週藝%歐衍聰%郭長春%肖斌%何文紅%黃嶽文%金井升
주예%구연총%곽장춘%초빈%하문홍%황악문%금정승
多晶硅太阳电池%PECVD%双层SiNx膜
多晶硅太暘電池%PECVD%雙層SiNx膜
다정규태양전지%PECVD%쌍층SiNx막
采用PECVD法,通过优化工艺参数,创新性地在多晶硅表面沉积了双层SiNx膜,并对其少子寿命、反射率及电性能进行分析.结果表明,对比传统多晶硅太阳电池生产采用的单层SiNx镀膜工艺,本工艺可有效延长多晶硅少子寿命、增强光谱吸收、降低多晶硅的表面反射率,其电性能明显提高,中短路电流提高了100mA,光电转换效率提高了1.34％.
採用PECVD法,通過優化工藝參數,創新性地在多晶硅錶麵沉積瞭雙層SiNx膜,併對其少子壽命、反射率及電性能進行分析.結果錶明,對比傳統多晶硅太暘電池生產採用的單層SiNx鍍膜工藝,本工藝可有效延長多晶硅少子壽命、增彊光譜吸收、降低多晶硅的錶麵反射率,其電性能明顯提高,中短路電流提高瞭100mA,光電轉換效率提高瞭1.34％.
채용PECVD법,통과우화공예삼수,창신성지재다정규표면침적료쌍층SiNx막,병대기소자수명、반사솔급전성능진행분석.결과표명,대비전통다정규태양전지생산채용적단층SiNx도막공예,본공예가유효연장다정규소자수명、증강광보흡수、강저다정규적표면반사솔,기전성능명현제고,중단로전류제고료100mA,광전전환효솔제고료1.34％.
