材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2011年
12期
45-48
,共4页
张俊双%叶勤%曾富强%王权康
張俊雙%葉勤%曾富彊%王權康
장준쌍%협근%증부강%왕권강
磁控溅射%AZO导电薄膜%薄膜厚度%工作压强%光电性能
磁控濺射%AZO導電薄膜%薄膜厚度%工作壓彊%光電性能
자공천사%AZO도전박막%박막후도%공작압강%광전성능
采用射频磁控溅射法在室温下、普通玻璃基片上制备了AZO透明导电薄膜.用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外-可见分光光度计和四探针测量了不同薄膜厚度和不同工作压强下所得样品的结构、电学和光学性能,结果表明,所制备的AZO薄膜均具有六角纤锌矿结构,沿c轴择优取向生长;在可见光范围内,薄膜平均透过率约为80%;随着薄膜厚度的增加和工作压强的降低,薄膜的电阻率呈下降趋势;得到的薄膜最低方块电阻为7.5Ω/□.
採用射頻磁控濺射法在室溫下、普通玻璃基片上製備瞭AZO透明導電薄膜.用X射線衍射儀、原子力顯微鏡、紫外-可見分光光度計和四探針測量瞭不同薄膜厚度和不同工作壓彊下所得樣品的結構、電學和光學性能,結果錶明,所製備的AZO薄膜均具有六角纖鋅礦結構,沿c軸擇優取嚮生長;在可見光範圍內,薄膜平均透過率約為80%;隨著薄膜厚度的增加和工作壓彊的降低,薄膜的電阻率呈下降趨勢;得到的薄膜最低方塊電阻為7.5Ω/□.
채용사빈자공천사법재실온하、보통파리기편상제비료AZO투명도전박막.용X사선연사의、원자력현미경、자외-가견분광광도계화사탐침측량료불동박막후도화불동공작압강하소득양품적결구、전학화광학성능,결과표명,소제비적AZO박막균구유륙각섬자광결구,연c축택우취향생장;재가견광범위내,박막평균투과솔약위80%;수착박막후도적증가화공작압강적강저,박막적전조솔정하강추세;득도적박막최저방괴전조위7.5Ω/□.
