冷坩埚原理及其在多晶硅制备中的应用
랭감과원리급기재다정규제비중적응용
Cold Crucible Theory and Its Application in Preparing of Multicrystalline Silicon
  • 万方数据
    材料工程 재료공정
    JOURNAL OF MATERIALS ENGINEERING
    2011年 7期 90-96 ,共7页

    黄锋%陈瑞润%郭景杰%丁宏升%杨劼人%苏彦庆%傅恒志

    황봉%진서윤%곽경걸%정굉승%양할인%소언경%부항지

    冷坩埚%电磁感应%多晶硅%提纯 冷坩堝%電磁感應%多晶硅%提純
    랭감과%전자감응%다정규%제순
    综述了冷坩埚技术的原理、特点与技术要求,重点介绍了电磁冷坩埚技术的工艺性能与影响因素,总结了各因素对冷坩埚性能的影响规律,最后概述了冷坩埚技术在多晶硅提纯与成型制备中的优势和应用,并展望了其未来的发展.
    종술료랭감과기술적원리、특점여기술요구,중점개소료전자랭감과기술적공예성능여영향인소,총결료각인소대랭감과성능적영향규률,최후개술료랭감과기술재다정규제순여성형제비중적우세화응용,병전망료기미래적발전.
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