强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2011年
2期
423-427
,共5页
谢瑞清%李亚国%陈贤华%黄浩%王健%许乔
謝瑞清%李亞國%陳賢華%黃浩%王健%許喬
사서청%리아국%진현화%황호%왕건%허교
光学元件%抛光%面形精度%压力分布%抛光垫
光學元件%拋光%麵形精度%壓力分佈%拋光墊
광학원건%포광%면형정도%압력분포%포광점
为解决强激光系统中大口径光学元件抛光面形精度收敛困难的问题,提出了一种基于压力补偿原理的抛光面形快速收敛技术.利用独特的抛光垫修整技术,将抛光垫表面修整成特定形状,使工件与抛光垫的接触面产生不均匀的压力分布,并结合精确的抛光转速控制,以加快工件面形精度的收敛速度.实验结果表明,将抛光垫修整成微凸面形,可以有效避免抛光中元件过早塌边问题,能将大口径平面元件的初抛时间从数天缩短到6 h以内,元件面形精度提高到1个波长左右.
為解決彊激光繫統中大口徑光學元件拋光麵形精度收斂睏難的問題,提齣瞭一種基于壓力補償原理的拋光麵形快速收斂技術.利用獨特的拋光墊脩整技術,將拋光墊錶麵脩整成特定形狀,使工件與拋光墊的接觸麵產生不均勻的壓力分佈,併結閤精確的拋光轉速控製,以加快工件麵形精度的收斂速度.實驗結果錶明,將拋光墊脩整成微凸麵形,可以有效避免拋光中元件過早塌邊問題,能將大口徑平麵元件的初拋時間從數天縮短到6 h以內,元件麵形精度提高到1箇波長左右.
위해결강격광계통중대구경광학원건포광면형정도수렴곤난적문제,제출료일충기우압력보상원리적포광면형쾌속수렴기술.이용독특적포광점수정기술,장포광점표면수정성특정형상,사공건여포광점적접촉면산생불균균적압력분포,병결합정학적포광전속공제,이가쾌공건면형정도적수렴속도.실험결과표명,장포광점수정성미철면형,가이유효피면포광중원건과조탑변문제,능장대구경평면원건적초포시간종수천축단도6 h이내,원건면형정도제고도1개파장좌우.
